1、電子萬級潔凈室內的噪聲級(空態):不應大于65dB(A)
2、電子潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
3、電子潔凈室與室外空間應保持一定的靜壓差,各潔凈室(區域)與周圍空間的靜壓差按照生產工藝決定,不同等級的潔凈室(區域)之間的靜壓差應不應小于5Pa,潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差大于5Pa。潔凈室與室外的靜壓差應大于10pa。
4、電子廠房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關溫濕度規定)。
5、保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。